晶圓是半導體制造中的關鍵材料，非常脆弱，容易受到振動、溫度變化和污染的影響。因此，晶圓傳輸對精度、速度和潔凈度要求極高，任何微小振動或定位偏差都可能導致產品良率下降。尤其是隨著300mm以上晶圓和2.5D/3D封裝技術的發展，對伺服系統提出了更高要求。
Elmo作為全球知名的運動控制系統及運動控制解決方案供應商，擁有SimpIIQ、Gold、Platinum和Titanium等多個系列伺服驅動系列產品，可以為半導體制造工藝全流程提供高性能驅動控制解決方案。
為什么選擇Elmo伺服系統?
以Elmo大功率伺服驅動器Platinum系列為例，該系列在速度、伺服性能、帶寬、精度和控制能力上，相對于Elmo明星產品Gold系列都做了大幅升級，可以更好地滿足晶圓傳輸對運動控制的嚴苛要求。
小身材大能量滿足微縮工藝
以Elmo Platinum Twitter驅動器為例，最小尺寸為35 x 30 mm，僅有一個火柴盒的大小，完全滿足半導體制作工序持續微縮的需求，同時可提供最高5600W的連續功率，確保晶圓在傳輸過程中高效可靠。
納米級運動控制實現精準定位
采用高分辨率編碼器和先進電流環控制技術，搭配Platinum Maestro先進的雙核運動控制技術，實現納米級精度的運動控制。
多軸協同控制提升傳輸效率
支持EtherCAT總線通訊，循環時間可達100 us，高協同性，可忽略的抖動和近乎零延遲。
抖動抑制技術保證脆性材料穩定傳輸
通過諧波補償算法，將靜止位置波動控制在極其微小的范圍以內，確保晶圓在傳輸時的穩定性。
監測和分析伺服驅動器的各項特點和功能
通過EASII軟件編寫程序，維護和分析運動過程，EASII還可以配置程序，輕松實現運動控制配置、驅動調整、參數記錄等。
目前，Elmo開發了最新一代基于氮化鎵功率開關技術的Titanium系列，該系列驅動器的開關應用材料做了全新升級，相對于傳統的開關控制器，在開關頻率和輸出的功率上得到了進一步的提升，在盡可能節省空間的情況下，能夠近一步提升運動控制的效率，節約成本，相信隨著Titanium系列的上市及更多實際應用，未來將重塑半導體制造新驅動。
關于Elmo
埃莫(Elmo)公司總部位于以色列，在美國、中國、德國、意大利、韓國、波蘭和英國設有辦事處，是高性能運動控制技術的全球領導者。
我們提供完整的運動解決方案，設計并制造尖端伺服驅動器，基于網絡的多軸運動控制器和集成伺服電機。所有產品均可通過埃莫先進且簡單易用的世界一流軟件工具整定和配置。憑借令人贊嘆的先進技術，我們致力于推動全球的運動控制行業的發展，迄今已有數百萬臺驅動裝置運行在世界各地，從工業到航空，從半導體到激光，從機器人到無人駕駛，有效提升各行業的機器性能。自2022年起，Elmo成為博世力士樂旗下公司 。
